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半導(dǎo)體行業(yè)自問世以來一直是數(shù)字化的先驅(qū),提供數(shù)字化服務(wù)并追求新的數(shù)字商業(yè)模式,人工智能應(yīng)用的快速發(fā)展帶來芯片的需求,促進(jìn)了半導(dǎo)體行業(yè)的強(qiáng)勢增長。
在半導(dǎo)體制程中,制作集成電路的尺寸越來越小,晶圓上的組件也隨之縮小,使得各種有機(jī)物、粒子的接觸污染及各機(jī)臺(tái)導(dǎo)致的金屬雜質(zhì)等污染物大于或相當(dāng)于組件尺寸的現(xiàn)象更嚴(yán)重,若在半導(dǎo)體制程中有污染物殘留在晶圓表面上,將造成組件短路或缺陷,導(dǎo)致集成電路無法使用,因此,半導(dǎo)體制程中不允許晶圓表面上殘留有污染物。

超純水(UPW)是指電阻率達(dá)到18 MΩ·cm(25℃)的水,可分為國標(biāo)《電子級(jí)水》和美標(biāo)《電子和半導(dǎo)體超純水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》。萊特萊德采用反滲透技術(shù),將水中的大部分離子、病毒及細(xì)菌去除后制成超凈水,以解決超純水清洗芯片寸在的問題,更好的提升芯片的良品率。其技術(shù)優(yōu)勢如下:
1、降低能耗,減少化學(xué)藥品的使用量,綜合成本低。
2、各個(gè)自動(dòng)運(yùn)行程序的工藝參數(shù)、控制參數(shù)可以在線設(shè)定。
3、自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)可分析各類故障并發(fā)出警報(bào),顯示故障點(diǎn)和故障狀態(tài)。
4、整體設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定、自動(dòng)化程度高、無需人工操作。
萊特萊德半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)采用定制化工藝包,搭配成熟的模塊設(shè)計(jì),達(dá)到1+1>2的結(jié)果呈現(xiàn),為半導(dǎo)體行業(yè)提供更優(yōu)品質(zhì)的超純水。
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